早在19世紀60年代，法國的海軍軍官與工程師查爾斯·布魯恩合作，共同設計並製造了一艘潛艇，該艇被命名為「潛水者」號，1863年，「潛水者」號潛艇建成，該艇的主尺度為44.5x6x2.8米，水面排水量為420噸，水下排水量為435噸，是當時世界上最大的潛艇。「潛水者」號潛艇裝備的是一具魚雷發射管。「潛水者」號潛艇裝備了一臺壓縮空氣發動機，可以使得該艇在水下以4節的速度航行。
法國擁有的第一艘真正具有軍事作戰能力的潛艇，是「一角鯨」號潛艇。「一角鯨」號潛艇是法國海軍第一艘採用蒸汽電力推進方式的潛艇，該艇於1896年法國海軍舉辦的潛艇公開競賽中以其出色性能奪冠。
在這次公開競賽過程中，「一角鯨」號潛艇的成績是水面續航力為100海裡，水下續航力為10海裡。該艇的水面排水量為157噸，水下排水量為213噸，艇上裝備250馬力的蒸汽機一臺，鍋爐一臺，功率100馬力的推進電機一臺，其水下航速為6節，艇上裝備4具魚雷發射裝置。
「一角鯨」號潛艇是法國海軍第一艘採用蒸汽電力推進方式的潛艇。其後，作為「一角鯨」號潛艇設計師的馬克西姆·羅伯夫在「一角鯨」號潛艇基礎上完成了「白鷺」級潛艇的設計。「白鷺」級潛艇裝備的是柴油機主機。第一次世界大戰期間，「白鷺」級潛艇全部參加了戰爭，主要是執行港口保衛和警戒任務。
1906～1908年期間，法國海軍建成「綠寶石」級潛艇，該級潛艇是當時法國海軍擁有的排水量最大的潛艇，艇上裝備了6具魚雷發射管，其武器裝備的規模也是當時法國海軍之最。1915年8月，法國海軍在「綠寶石」級之中的2艘潛艇的甲板上各自裝備了一座37毫米艦炮。於是，「綠寶石」級潛艇便成為法國海軍中第一批裝備了艦炮的潛艇。
1908年11月，法國海軍建成了「雨月」級潛艇，該級潛艇是法國海軍蒸汽機潛艇中建造數量最多的一種型號，總共建造了18艘。「雨月」級潛艇的主要不足是，該級潛艇在潛入水下之前，需要把艇內的蒸汽排放掉，因此，該級潛艇在由水面狀態轉為水下狀態時需要較多的時間。
法國海軍在完成了以蒸汽機為主機的「雨月」級潛艇設計和建造之後，於1914年建造了「霧月」級潛艇。不過，16艘「霧月」級潛艇裝備的這些德國柴油機都是法國海軍從德國購置了製造許可證之後在法國製造的。
1915年，法國海軍建造了「女戰神」級潛艇，「女戰神」級潛艇的排水量為567噸，比「霧月」級潛艇有了一定幅度的增加。但是，「女戰神」級潛艇主機功率在實際運行過程中卻沒有達到原來的1300馬力的設計指標，而僅僅發出了800馬力的功率，因此，「女戰神」級潛艇的水面最高航速也沒有達到預定的指標。第一次世界大戰期間，「女戰神」級潛艇被法國海軍部署在大西洋參加海上作戰。
第一次世界大戰期間，法國建造了3艘「阿邁德」級潛艇。另外，法國在第一次世界大戰期間還設計和建造了以蒸汽機作為主機的「富爾頓」級和「拉格蘭奇」級潛艇，但是，由於這兩種型號的潛艇都是在第一次世界大戰結束前夕發出訂單的，因此，在戰爭期間建造工作受到了很大影響，比原來計畫推遲了許多。後來，法國海軍決定把「富爾頓」級和「拉格蘭奇」級潛艇的主機都改為柴油機，這兩種型號的潛艇均在第一次世界大戰結束之後建成服役。
第一次世界大戰以德國戰敗而結束之後，作為戰爭的勝利者，法國得到了10艘德國的潛艇作為戰利品，然後，法國海軍對德國海軍的潛艇進行了深入的分析和研究。在充分吸收德國海軍潛艇先進技術的基礎上，法國海軍於1920年設計了「食人鯊」級潛艇。
「食人鯊」級潛艇是法國海軍于第一次世界大戰結束之後建造的第一批潛艇。除此之外，法國在第一次世界大戰結束之後還以德國海軍的UB—III級潛艇為母型，建造了「海妖」級、「阿萊恩」級和「女妖」級等3種型號的潛艇，這3種型號潛艇的排水量都是600噸左右，而且每種型號潛艇的基本性能都相差無幾。
隨著潛艇技術的發展，法國海軍也像美國和英國皇家海軍一樣，於20世紀20年代逐步建立了「艦隊型潛艇」的概念。為此，法國海軍於1928～1937年期間陸續建成了31艘1500噸級的「艦隊型潛艇」，1500噸級潛艇上裝備了功率為6000馬力的主機和11具魚雷發射管，具有足夠強大的作戰性能。
第二次世界大戰期間，1500噸級的所有潛艇都參加了戰爭，但是在戰爭期間該級潛艇幾乎損失殆盡，剩餘數量不多的1500噸級潛艇于第二次世界大戰結束之後的20世紀50年代退出現役。
另外，在1930～1933年期間，法國海軍建造了22艘630噸級的潛艇，這些潛艇包括「阿爾古英雄」級、「羅馬月神」級、「獵戶座」級和「智慧女神」級等四種型號的潛艇。這4種型號的潛艇，全部參加了第二次世界大戰，其中一部分被擊沉，其餘的潛艇則於1946～1950年退出現役。